书目详细信息
： 纳米加工技术与原理
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-118-12322-7:CNY119.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 纳米加工技术与原理/.(加拿大)Maria Stepanova,Steven Dew编/.段辉高[等]译 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2021 |
| 载体形态项： | 318,10页:;+图,照片:;+24cm |
| 一般附注： | 装备科技译著出版基金 |
| 提要文摘： | 本书为电子、材料以及物理等领域的科学家和工程师更新纳米结构加工的新核心技术。主要内容包括亚25nm图形的光刻技术,纳米尺度精度的沉积技术,纳米尺度的图形刻蚀技术等。本书的亮点不是为了延展微电子制造工艺,而是更多聚焦于可在纳机电系统、生物传感器、纳米材料、光子晶体以及其它新型器件结构等革命性技术领域应用的图形加工技术。 |
| 并列题名： | Nanofabrication techniques and principles eng |
| 题名主题： | 纳米材料 加工 |
| 中图分类： | TB383 |
| 个人名称等同： | 斯捷潘诺娃 (加拿大) (Stepanova, Maria) 编 |
| 个人名称等同： | 德夫 (加拿大) (Dew, Steven) 编 |
| 个人名称次要： | 段辉高 译 |
| 个人名称次要： | 陈艺勤 译 |
| 个人名称次要： | 胡跃强 译 |
| 个人名称次要： | 李平 译 |
| 记录来源： | CN rh 20251216 |