书目详细信息
： MEMS多晶圆旋转机械:涡轮机、发电机和发动机
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-118-10543-8:CNY120.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | MEMS多晶圆旋转机械/.(美) Jeffrey H. lang著/.刘欢 ... [等] 译 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2016.06 |
| 载体形态项： | xi, 361页:;+图:;+24cm |
| 一般附注： | 装备科技译著出版基金 西安工业大学专著出版基金资助 |
| 提要文摘： | 本书共9章, 第1章和第2章是介绍多晶圆旋转机器的基础。第3章讨论了材料、结构、和封装。第4章主要讲述与硅相关的制造。第5章侧重于电镀磁性元件, 如线圈和磁芯, 形成一个硅的上层构造。第6章介绍了超高速空气轴承的研究进展。第7章介绍了热流体和涡轮机的研究工作。第8章介绍了MEMS发电机的工作原理。第9章重点介绍了MEMS的尺度燃烧。 |
| 题名主题： | 微电机 |
| 中图分类： | TM38 |
| 个人名称等同： | Jeffrey H lang (美) 著 |
| 个人名称次要： | 刘欢 译 |
| 记录来源： | CN JTXY 20171214 |