书目详细信息
： 微机电系统及工程应用
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-122-23883-2:CNY58.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统及工程应用/.莫锦秋，梁庆华，王石刚编著 |
| 出版发行项： | 北京:,化学工业出版社:,2015 |
| 载体形态项： | 191页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 现代机电一体化技术丛书 |
| 提要文摘： | 本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了介绍。 |
| 题名主题： | 微电子技术 系统工程 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 莫锦秋 编著 |
| 个人名称等同： | 梁庆华 (机构学) 编著 |
| 个人名称等同： | 王石刚 编著 |
| 记录来源： | 20160514 |