书目详细信息
： 薄膜技术与薄膜材料
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-302-27483-4:CNY98.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 薄膜技术与薄膜材料/.田民波，李正操编著 |
| 出版发行项： | 北京:,清华大学出版社:,2011 |
| 载体形态项： | 13,531页:;+图:;+26cm |
| 一般附注： | 材料科学与工程系列 |
| 提要文摘： | 本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用4大部分，涉及大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、MEMS、传感器、白光LED固体照明、太阳能电池、材料表面改性等领域。 |
| 题名主题： | 薄膜技术 |
| 题名主题： | 薄膜 工程材料 |
| 题名主题： | 薄膜 |
| 题名主题： | 工程材料 |
| 中图分类： | TB43 |
| 中图分类： | TB383 |
| 个人名称等同： | 田民波 (材料科学) 编著 |
| 个人名称等同： | 李正操 编著 |
| 记录来源： | CN DHSJ 20260309 |
| 记录来源： | CN JTXY 20260316 |