书目详细信息
： 气态分子污染及控制技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5618-6824-9:CNY100.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 120000 |
| 题名责任者项： | 气态分子污染及控制技术/.裴晶晶, 薛人玮, 刘俊杰著 |
| 出版发行项： | 天津:,天津大学出版社:,2020.12 |
| 载体形态项： | 164页:;+图 (部分彩图):;+26cm |
| 丛编项： | 研究生创新人才培养系列教材 |
| 一般附注： | 本书由“室内空气环境质量控制天津市重点实验室”资助 本书由国家“十三五”重点研发计划项目“洁净空调厂 |
| 相关题名附注： | 英文并列题名取自封面 |
| 提要文摘： | 本书将专门针对电子洁净厂房内的气态分子污染物, 从定义及分类、影响及危害、标准及检测、净化机理、净化材料、控制系统及设备、净化性能测试7个方面, 针对半导体行业重大需求, 紧扣行业应用, 逐层深入, 旨在为相关的学者、研究人员及工程技术人员提供相关基础知识。本书借鉴了国内外相关分子污染物控制的书籍和标准, 在汲取相关宝贵研究成果的基础上, 立足微电子行业污染物控制的需求和多年来的教学经验, 从分子污染物控制的基础理论、控制技术、监测方法、控制系统和设备等方面产系统的阐述了分子污染物控制的各项内容。 |
| 并列题名： | Airborne molecular contaminant and its control eng |
| 题名主题： | 气体污染物 污染控制 研究生 教材 |
| 中图分类： | X511 |
| 个人名称等同： | 裴晶晶 著 |
| 个人名称等同： | 薛人玮 著 |
| 个人名称等同： | 刘俊杰 著 |
| 记录来源： | CN XHSD 20210929 |