书目详细信息
： 金刚石薄膜沉积制备工艺与应用
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 7-5024-2775-9:CNY20.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 金刚石薄膜沉积制备工艺与应用/.戴达煌,周克崧等编著 |
| 出版发行项： | 北京:,冶金工业出版社:,2001 |
| 载体形态项： | 13,208页:;+21cm |
| 丛编项： | 21世纪新材料科学与技术丛书 |
| 提要文摘： | 本书阐述了各种沉积薄膜的制备方法；论述了金刚石薄膜的非平衡热力学和金刚石膜生长的动力学因素；同时介绍了性能接近金刚石膜的类金刚石膜的制备工艺、性能和应用。 |
| 题名主题： | 金刚石 薄膜 制备 |
| 题名主题： | 金刚石 |
| 题名主题： | 薄膜 |
| 中图分类： | TB34 |
| 个人名称等同： | 戴达煌 编著 |
| 个人名称等同： | 周克崧等 编著 |
| 记录来源： | CN 北京腾飞华宇 20110924 |