— 卢睿，李林瑛著
索书号：TP181/286
标准编码： 978-7-302-66449-9
出版信息：北京 清华大学出版社 2024
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— 李林瑛, 卢睿著
索书号：TN305/4
标准编码： 978-7-121-31227-4
出版信息：北京 电子工业出版社 2017.04
主题词： 半导体工艺设备 半导体工艺设备
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